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河北电子净化车间装修厂家——随着微电子技术的进步、集成度不断提升,集成电路的线宽迅速缩小,相应地对生产环境中空气分子污染物的浓度限制越来越严格。
微电子工业空调净化系统根据电子工业工艺的特点,普遍采用MAU+FFU+DC 的方案。即依靠室外补风(新风)空调机组承担室内的全部湿负荷及部分热负荷,并承担维持室内正压的功能;辅以室内空气自循环的风机过滤器机组(以满足所需洁净送风量;同时在循环风通路上设置水冷干式空气换热器,用以带走FFU及室内工艺设备所生产的显热负荷。河北净化车间装修厂家找卓泰净化工程。
河北电子净化车间装修厂家——室外空气中的污染物进入电子洁净车间,新风空调机组不仅需要设置多级过滤器以滤除空气中的颗粒物,同时还需要设高效过滤除室外空气中的携入的AMC。这两类过滤器的设置要排列顺序合理,有利于相辅相成做电子净化车间洁净级别。河北电子净化车间装修厂家找卓泰净化
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